Fluke molbox RFM 流量测量主机

molbox RFM 是一个辅助单元,可使用 molbloc-L 层流和 molbloc-S 声速流元件进行质量流量测量。 molbloc 流量元件通过两个压力连接件和一根数据线连接到 molbox RFM 上。molbox RFM 从 molbloc EEPROM 读取校准数据,并利用它内置的高精度参考压力传感器 (RPT) 测量 molbloc 的上游压力和下游压力。欧姆测量系统读取 molbloc 铂电阻测温仪的电阻,然后由此计算 molbloc 温度。利用存储在 molbox RFM 内存中的 molbloc 校准数据、压力、温度和气体属性,可计算出通过 molbloc 的气流流速......

产品描述

Fluke molbox RFM 流量测量主机
molbox RFM 是一个辅助单元,可使用 molbloc-L 层流和 molbloc-S 声速流元件进行质量流量测量。

molbloc 流量元件通过两个压力连接件和一根数据线连接到 molbox RFM 上。molbox RFM 从 molbloc EEPROM 读取校准数据,并利用它内置的高精度参考压力传感器 (RPT) 测量 molbloc 的上游压力和下游压力。欧姆测量系统读取 molbloc 铂电阻测温仪的电阻,然后由此计算 molbloc 温度。利用存储在 molbox RFM 内存中的 molbloc 校准数据、压力、温度和气体属性,可计算出通过 molbloc 的气流流速。对于 molbloc-L 流量元件,在流量量程 10% FS 以下时,可以选择微量程功能选项来提高流量测量分辨度和精确度。

molbox RFM 和 molbloc 流量元件应用广泛,适用于需要高精确度测量低气流的测量、测试和校准应用。对于主要考虑结构紧凑、量程可调性高、成本较低的应用来说,molbox RFM 是理想之选。第二种型号 molbox1+ 针对的优先考虑不确定度的应用。要配置质量流量校准系统,请查看随后几页,选择 molbloc 和压力相关校准,以便更好的覆盖您的流量量程和压力状况。molstic 安装系统和 COMPASS® for molbox 流量校准App可以帮您完善系统。

特点

  • 结构紧凑。
  • molbloc-L 覆盖的流量量程从 1 sccm 到 100 slm,而 molbloc-S 覆盖的流量上限更是达到了 5000 slm。
  • 从 20 种不同的气体中选择。
  • 利用 100:1 可调性实现认证的测量不确定度 ±0.5% 读数。
  • 内部阀门,可实现内置的清洗、泄漏测试和自重支撑。
  • 包括求和、取平均值、高值/低值及偏差等高级测量函数。
  • 完善的前面板控制以及 RS232 和 IEEE-488 远程通信。
  • 利用可由用户设置的参考压力和温度状态,测量质量和体积流量。
技术指标

流量测量技术指标

molbox RFM 可测量通过 molbloc 流量元件的流量。molbloc-L 的流量量程、可用工作压力和压力差,或者 molbloc-S 的流量量程、绝压量程,取决于所使用的 molbloc 元件和校准选项。请参阅 molbloc-L 和 molbloc-S 量程表,了解校准和量程详情。

molbloc-L 量程最高可达 3E4,可通过微量程选项提高在 10% FS 以下时的分辨率和精确度。对于 1E5-L molbloc,必须使用微量程选项才能达到技术指标。

molbox RFM

 

molbloc-L(量程从 1E1-L 到 3E4-L)

molbloc-S(所有量程)

测量更新速率

 

1 秒

1 秒

范围

到 molbloc 满刻度,取决于气体和 molbloc 压力

取决于校准类型(请参阅 molbloc-L 量程表)

流量相对于 20 kPa 到 200 kPa 绝压(3 psia 到 30 psia)或 20 kPa 到 200 kPa 绝压(7 psia 到 70 psia)上游

(请参阅 molbloc-S 量程表)

分辨率

0.01% FS

±0.01% 读数

线性

±0.23% 读数,从 10% 到 100% FS

±0.023% FS,在 10% FS 以下

±0.25% 读数

重复性

±0.1% 读数,从 10% 到 100% FS

±0.01% FS,在 10% FS 以下

±0.1% 读数

精确度1

±0.25% 读数,从 10% 到 100% FS

±0.025% FS,在 10% FS 以下

±0.3% 读数

预测的稳定度2
(一年期)

±0.15% 读数,从 10% 到 100% FS

±0.015% FS,在 10% FS 以下

读数的 ±0.2%

测量不确定度3

 

±0.5% 读数,从 10% 到 100% FS

±0.05% FS,在 10% FS 以下

±0.5% 读数,从 50 kPa 到 500 kPa,±0.5% 流量 @

50 kPa 从 20 kPa 到 50 kPa

具有微量程选项的 molbox RFM

 

molbloc-L(量程从 1E1-L 到 3E4-L)

molbloc-L(量程仅仅是 1E5)

测量更新速率

1 秒

1 秒

范围

从 0 到 molbloc 满刻度,取决于气体和 molbloc 压力

取决于校准类型(请参阅 molbloc-L 表格)

从 0 到 molbloc 满刻度,取决于气体和 molbloc 压力

取决于校准类型(请参阅 molbloc-L 表格)

分辨率

0.01% FS,0.001% FS 以下

 10% FS

0.01% FS

线性

±0.23% 读数,从 1% 到 100% FS;±0.0023% FS,在 1% FS 以下

±0.25% 读数,从 5% 到 100% FS

±0.0125% FS,在 5% FS 以下

重复性

±0.1% 读数,从 1% 到 100% FS

±0.001% FS,在 1% FS 以下

±0.2% 读数,从 5% 到 100% FS

±0.01% FS,在 5% FS 以下

精确度1

±0.25% 读数,从 1% 到 100% FS

±0.0025% FS,在 1% FS 以下

±0.32% 读数,从 5% 到 100% FS

±0.016% FS,在 5% FS 以下

预测的稳定度2
(一年期)

±0.15% 读数,从 1% 到 100% FS

±0.0015% FS,在 1% FS 以下

±0.2% 读数,从 5% 到 100% FS

±0.01% FS,在 5% FS 以下

测量不确定度3

±0.5% 读数,从 1% 到 100% FS

±0.005% FS,在 1% FS 以下

±0.5% 读数,从 5% 到 100% FS

±0.025% FS,在 5% FS 以下

molbloc-S(所有量程)

除了没有微量程以外,其他技术指标与 molbox RFM 相同。只要将 molbox RFM 连接到 molbloc-S 上,就会禁用微量程传感器。

1 精确度:包含线性度、迟滞和可重复性。

2 预测的稳定度:典型 molbox RFM 和 molbloc 在典型环境下使用时一年内从零到范围值的较大变化情况。由于稳定度只能是一种预测,因此应该根据经验建立特定 molbox RFM 的稳定度。

3 测量不确定度:molbox RFM 流量指示相对于通过 molbloc 的流量真值的较大偏差,包括精确度、稳定度和 DHI 校准标准不确定度。molbloc 的测量不确定度技术指标仅适用于使用的是 molbloc 校准过的气体的情况。所有 molbloc 都针对 N2 校准过。其他气体的校准是可选的。并非所有规格的 molbloc 在所有时间,对所有气体都提供 DHI 校准功能。请在订购前检查是否可用。

型号

型号 描述
Molbox RFM

molbox RFM 参考流量监控器

包含:

用户手册、校准证书、电源线、(2) molbox RFM 到 molbloc 压线、(1) molbox RFM 到 molbloc 数据线、(2) 直通压力快速连接器

5141-100

molbox RFM, molbloc 5E1-L 10 to 100 sccm

Included:

  • molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual
  • molbloc 5E1-L laminar flow element 
  • molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L
  • Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male

 

5141-1K

molbox RFM, molbloc 5E2-L 100 to 1,000 sccm

Included: 

  • molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual
  • molbloc 5E2-L laminar flow element 
  • molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L
  • Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male

 

5141-10K

molbox RFM, molbloc 5E3-L 1 to 10 slm

Included: 

  • molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual
  • molbloc 5E3-L laminar flow element
  • molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L
  • Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male

 

5141-50K

molbox RFM, molbloc 3E4-L 5 to 50 slm

Included: 

  • molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual
  • molbloc 3E4-L laminar flow element 
  • molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L
  • Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male

 

5142-1K

molbox RFM-M, molbloc 5E2-L 10 to 1,000 sccm

Included: 

  • molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual
  • molbloc 5E2-L laminar flow element 
  • molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L
  • Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male

 

5142-10K

molbox RFM-M, molbloc 5E3-L 0.1 to 10 slm

Included: 

  • molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual
  • molbloc 5E3-L laminar flow element 
  • molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L
  • Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male

 

5142-50K

molbox RFM-M, molbloc 3E4-L 0.5 to 50 slm

Included: 

  • molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual
  • molbloc 3E4-L laminar flow element 
  • molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L
  • Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male

 

5144-50K

molbox RFM-M, molblocs 5E2-L and 3E4-L10 sccm to 50 slm

Included:

  • molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual
  • molbloc 5E2-L and 3E4-L laminar flow elements
  • molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L
  • Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male

通用配件:

配件 描述
MFC-CB 控制盒

MFC-CB 控制盒

包括:
(2)MFC/MFM 连接线套件
校准线
电源线
操作与维护手册
校准报告

针对 molbloc/molbo 用户的校准辅助App  
molstic-L 安装系统  
molstic-S 安装系统  
RFM-RMK

机架安装工具

RFM 02

微量程


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